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    國產光刻膠自給率現狀:EUV為0%,ArF為1%,KrF為5%

    眾所周知,目前芯片制造均是采用光刻工藝,而光刻工藝下,光刻膠是非常重要的材料。

    光刻膠是一種具有光敏化學作用的高分子聚合物材料,外觀上呈現為膠狀液體。涂在硅晶圓上,作為抗刻蝕層保護襯底表面。


    【資料圖】

    當光刻機的光線照射至涂了光刻膠的硅晶圓上時,光刻膠就會發生變化,再經過后續的刻蝕等工序之后,電路圖就會留在硅晶圓上了。

    所以光刻膠在芯片制造中至關重要,同時光刻膠與芯片的工藝、光刻機的光線也是對應的。

    目前從市場來看,光刻膠分為g線、i線、KrF、ArF、EUV這么5種,對應著不同的芯片工藝和光刻機的技術。

    具體按照工藝來劃分的話,g線、i線主要用于250nm以上工藝,KrF一般用于250nm-130nm工藝,ArF一般用于130nm-14nm,而EUV用于EUV光刻工藝,主要用于7nm以下工藝。

    從全球市場來看,光刻膠主要被日本廠商壟斷,特別是EUV光刻膠,目前全球僅日本廠商能夠生產。

    2021年市場數據為:在g線/i線、KrF、ArF、EUV光刻膠市場中,日本企業的市占率分別為61%、80%、93%,100%,總體份額超過75%。

    而之前有媒體報道稱,韓國廠商被日本卡脖子后,奮發圖強,也能夠生產EUV光刻膠了,但實際在市場上,還沒有具體見到。

    而中國在光刻膠上面,高度依賴進口,按照機構給出的數據,目前在EUV光刻膠上,中國自給率為0,不過目前國內也生產不了7nm及以下的芯片,沒有EUV光刻機,也用不上EUV光刻膠。

    而在ArF這種用于130nm-14nm芯片光刻膠上,國產的自給率約為1%,99%需要進口。不過近日有媒體報道稱,國產的ArF光刻膠已經有突破了,南大光電已經開發了多款ArF光刻膠在下游客戶處驗證,制程覆蓋28nm~90nm,這算是巨大的驚喜了。

    而用于250nm-130nm工藝的KrF光刻膠,國產自給率約為5%,也就是說還有95%要進口,不過這一塊也不需太過于擔心,國產缺的是產能以及市場份額,不是技術,國外卡不住脖子。

    在比較落后的g線、i線光刻膠上面,國產率超過20%了,畢竟這種技術門檻不高,之所以沒達到100%國產,原因更多的還是產能影響,不是技術。

    可見發展中國芯,光刻膠也是需要突破的,EUV暫且不提,國內暫時也用不上。但是ArF光刻膠,它是用于14nm-130nm的光刻膠,是當前最重要的光刻膠之一了,也是國內最需要的光刻膠,我們可不能被國外卡住了脖子,你覺得呢?

    責任編輯:Rex_12

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